laminar type replica diffraction grating for soft x-ray region
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|---|---|
| 鍩哄簳鏉愯川 | 涓嶣k-7鐩稿綋 |
| 澶栧舰灏哄鍏樊(mm) | 卤0.2(w)脳卤0.2(h) |
| 涓績鍘氬害鍏樊(mm) | 卤0.5锛堬即锛?/td> |
| 鏈夋晥鑼冨洿(mm) | 闄ゅ懆杈?mm浠ュ鐨勬墍鏈夊尯鍩?/td> |
| 鍒荤嚎鏁板叕宸?/th> | 卤0.5% |
| 钂搁晙 | 閲?au) |
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30-001
2400
1~6
23.5
237
88.65
235.6
85.81
238.5
80.17
235
90.0
50脳30脳10
au
30-002
1200
5~20
25.3
237
87
236.7
83
241.1
77.1
235
90.0
50脳30脳10
au
30-003
2400
1~7
26.8
236.7
88.6
235.8
85.8
239.5
79.4
235
90.5
50脳30脳10
au
30-004
2400
0.6~4
19.4
236.8
88.65
233.9
86.64
235.8
81.94
233.5
90.0
50脳30脳10
au
30-005
1200
3.5~8.5
11.1
237
87.07
234.8
83.98
236.2
81.3
233.5
90.0
50脳30脳10
ni
30-006
300
20-80
25.3
237.0
87.00
236.7
83.04
241.1
77.07
235.0
90.0
50脳30脳10
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| 鍨嬪彿 | 鍒荤嚎鏁?/th> | 娉㈤暱 鑼冨洿 |
妫€娴嬪櫒 闀垮害 |
璁捐mount鍙傛暟 | 澶栧舰灏哄 | 闀€鑶?/th> | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| n | 位1~位2 | l | r | 伪 | r1' | 尾1 | r2' | 尾2 | ri' | 螔i | w脳h脳t | 鏉愯川 | |
| (鏉?mm) | (nm) | (mm) | (mm) | (deg.) | (mm) | (deg.) | (mm) | (deg.) | (mm) | (deg.) | (mm) | ||
| 30-001 | 2400 | 1~6 | 23.5 | 237 | 88.65 | 235.6 | 85.81 | 238.5 | 80.17 | 235 | 90.0 | 50脳30脳10 | au |
| 30-002 | 1200 | 5~20 | 25.3 | 237 | 87 | 236.7 | 83 | 241.1 | 77.1 | 235 | 90.0 | 50脳30脳10 | au |
| 30-003 | 2400 | 1~7 | 26.8 | 236.7 | 88.6 | 235.8 | 85.8 | 239.5 | 79.4 | 235 | 90.5 | 50脳30脳10 | au |
| 30-004 | 2400 | 0.6~4 | 19.4 | 236.8 | 88.65 | 233.9 | 86.64 | 235.8 | 81.94 | 233.5 | 90.0 | 50脳30脳10 | au |
| 30-005 | 1200 | 3.5~8.5 | 11.1 | 237 | 87.07 | 234.8 | 83.98 | 236.2 | 81.3 | 233.5 | 90.0 | 50脳30脳10 | ni |
| 30-006 | 300 | 20-80 | 25.3 | 237.0 | 87.00 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235.0 | 90.0 | 50脳30脳10 | au |
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